إن طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة عبارة عن -جهاز دوار عالي الدقة لتحديد المواقع مصمم خصيصًا لسيناريوهات تصنيع أشباه الموصلات. تكمن قيمته الأساسية في حل مشكلات تحديد المواقع على المستوى الجزئي والحماية النظيفة وتكامل خطوط الأنابيب في معالجة الرقاقات وتغليف الرقائق من خلال "هيكل مجوف فائق النقاء + تصميم تكيف عملية أشباه الموصلات". يتم استخدامه على نطاق واسع في العمليات الأساسية مثل المساعدة في الطباعة الحجرية الضوئية، وفحص الرقاقات، وتغليف أشباه الموصلات، وهو مكون رئيسي لضمان إنتاجية منتج أشباه الموصلات.
إن طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة عبارة عن نظام تحديد موضع دوار عالي الدقة-وعالي النظافة، مصمم خصيصًا لعمليات تصنيع شرائح أشباه الموصلات وتعبئتها واختبارها. فهو يدمج المؤشرات الفنية ذات المستوى الأعلى- لمنصة الدوران المجوفة وقد تم تحسينه خصيصًا لتلبية المتطلبات القصوى لصناعة أشباه الموصلات. إنه مكون وظيفي رئيسي لتحقيق تحديد الموقع الدقيق ونقل ومعالجة الرقائق وحاملات الرقائق، ويرتبط ارتباطًا مباشرًا بإنتاج الإنتاج وكفاءة المعدات.
الميزة الأساسية لطاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة هي قناتها المجوفة النظيفة للغاية وهيكلها المتوافق مع أشباه الموصلات: الفتحة المجوفة عادة ما تكون 50 مم - 300 مم، والجدار الداخلي للقناة مطلي بسيراميك الألومينا عالي النقاء -، والذي تم صقله بدقة فائقة (خشونة Ra أقل من أو تساوي 0.005 ميكرومتر). يمكن استخدامه للمرور عبر خطوط أنابيب ذراع آلة نقل الرقاقة، وخطوط الأنابيب المطلية بمقاوم الضوء، والألياف الضوئية للكشف، وتجنب تشابك الخط أثناء الدوران؛ سطح العمل مصنوع من الفولاذ المقاوم للصدأ غير المغناطيسي أو مادة كربيد السيليكون، ويتم معالجة السطح بالبلازما (بمستوى نظافة من الفئة 1)، والذي لا يشكل أي خطر لانفصال الجسيمات. تم تجهيز واجهة امتزاز فراغ الرقاقة المعدة مسبقًا وفتحة دبوس تحديد المواقع بطبقة مضادة للكهرباء الساكنة على الحواف، والتي تلبي معايير حماية ESD للغرف النظيفة لأشباه الموصلات. مجهز داخليًا بنظام محرك الرفع المغناطيسي (بدون تآكل التلامس الميكانيكي)، إلى جانب التحكم المؤازر الخاص بأشباه الموصلات، يمكن أن تصل دقة تحديد المواقع المتكررة إلى ± 1 ثانية قوسية، مما يلبي متطلبات العمليات النانوية.
طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة هي منصة الحركة الأساسية للمعدات المتطورة-مثل محطات مسبار الويفر، وآلات وضع الرقائق، وآلات ربط الأسلاك، وآلات الطباعة الحجرية الضوئية، ومعدات فحص أشباه الموصلات (AOI)، والتعبئة المتقدمة (مثل الدوائر المتكاملة 2.5D/3D). يتم استخدامه على نطاق واسع في مراحل مختلفة من تصنيع الواجهة الأمامية-لأشباه الموصلات والتعبئة والاختبار-الخلفية، وهو "حجر الزاوية للتدوير الدقيق" الذي يدعم قانون مور لمواصلة المضي قدمًا وتحقيق أداء أعلى وحجم أصغر للرقائق.
هنا في هذه الصفحة، نقدم سلسلة من طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة TMN130، وستشاهد ورقة البيانات وصور الإنتاج ومقاطع الفيديو للاختبار على النحو التالي:
نرحب أيضًا بمشاهدة المزيد من المشاريع أو زيارة معرض الفيديو الخاص بنا على Youtube: https://www.youtube.com/@tallmanrobotics
الوسم : طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة، الصين طاولة أشباه الموصلات الدوارة المجوفة المصنعين والموردين والمصنع
